แก๊ส EO ใช้ในการทำให้อุปกรณ์ ปราศจากเชื้อ หรือเครื่องมือที่ทนความร้อนและความชื้นไม่ได้, EO เป็นสารเคมีที่สามารถทำลายเชื้อจุลชีพ และสปอร์ของเชื้อแบคทีเรีย คุณสมบัติของแก๊ส EO แก๊ส EO มีพิษ ไม่มีสี ที่ความเข้มข้นต่ำจะไม่มีกลิ่น แต่ที่ความเข้มข้นสูงกว่า 700 ppm. จะมีกลิ่นคล้ายอีเธอร์ หากมีความเข้มข้นสูงกว่า 3% อาจเกิดการระเบิดได้ EO สามารถทำลายเชื้อจุลชีพทุกชนิดรวมทั้งสปอร์ของเชื้อ Bacillus subtilis ซึ่งมีความคงทนมากกว่าเชื้ออื่นๆ ในการประเมินประสิทธิภาพการทำให้ปราศจากเชื้อด้วย EO จึงใช้เชื้อ B.subtilis เป็นตัวบ่งชี้ แก๊ส EO ไม่กัดกร่อนและไม่ทำให้พลาสติกหรือยางเสื่อมคุณภาพ แก๊สนี้สามารถแทรกซึมเข้าสู่ห่ออุปกรณ์และแพร่กระจายไปสัมผัสอุปกรณ์ได้รวดเร็ว EtO Sterilizer EtO Sterilizer EtO Sterilizer ระบบเครื่องอบแก๊ส EO เครื่องอบแก๊ส EO แบ่งออกตามลักษณะของแก๊ส EO ที่ใช้ได้เป็น 2 ระบบคือ
